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          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技術(shù)參數(shù)
          
                
          
                  發(fā)布時間： 2015-12-29　　點擊次數(shù)： 1554次  
                
          
                
          
                 
          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性
           
          • 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
          • 可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
          • 可實現(xiàn)高極限真空。
          • 低振動低噪音。
          • 維護周期可通過計時表控制。
           
          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用
           
          • 分析設(shè)備
          • 氣體回收系統(tǒng)
          • 涂料設(shè)備• TMP 前級泵
          • 氦滲漏探測器
          • 半導(dǎo)體制造工藝
           
          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)
           
           
          單位
          50Hz
          60Hz
          實際抽速
          L/min
          90
          108
          極限壓力
          Pa
          5.0
          馬達
           
          單相, 100/115/200/230V, 
          150W, 4P, 電容啟動運行
          滿載電流
          A
          2.6/1.3/1.6
          (100/200/230V)
          2.1/2.2/1.1/1.1 
          (100/115/200/230V)
          重量
          kg
          14.0
          進出氣管道直徑
           
          進氣管 KF-25　出氣管 KF-16
          環(huán)境溫度
          °C
          5 – 40
          水蒸氣處理
          g/天
          ≤5 (A.F. 開啟)
          尺寸
          mm
          214(W) × 308(L) × 225(H)
           
          四、外形圖
           
           
          五、泵數(shù)曲線
           
          六、對應(yīng)電壓與認證
           
          電壓
          現(xiàn)行電壓
          CE 認證
          CSA 認證
          單相, 
          100V / 115V (60Hz)/ 200-230V
          標準
           
           
          
                
          
                
            
          
        
          
    
          
  
          

          

          






 

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