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          日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵技術(shù)參數(shù)

          發(fā)布時間: 2015-12-29  點擊次數(shù): 1554次

          日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵 一、產(chǎn)品簡介

                  CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用陶磁精密軸承,以更高的可靠性實現(xiàn)了清潔無油的高真空環(huán)境,產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計,具有*的耐腐蝕性能,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。

           

          日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵 二、產(chǎn)品特點

                  

          • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
          • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實現(xiàn)泵的任意角度安裝。

           

          日本ULVAC CFB-1200N耐腐蝕分子泵 三、主要性能指標(biāo)

           

          型號

          CFB-1200N

          進氣口法蘭

          LF200

          CF200

          排氣口法蘭

          KF40

          抽氣速率

          L/s

          1200

          壓縮比N2/H2

          1×109/1×104

          極限壓強

          Pa

          5×10-7

          8×10-8   

          電機轉(zhuǎn)速

          rpm

          24000

          啟動時間

          min

          <5

          使用場合

          耐腐蝕

          振動值

          μm

          ≤0.1

          前極泵

          L/s

          8-15

          冷卻水溫度

          ≤20

          泵體烘烤溫度

          <120

          冷卻水流量

          L/min

          1

          加熱器功率

          W

          <600

          加熱器輸入電壓

          V

          AC220

          安裝方向

          垂直±5°

          重量

          kg

          ~34

           

          四、特性曲線及安裝尺寸

           

          CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

          CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

          CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表

          型號規(guī)格

          CFB-1200N

          高真空法蘭

          LF200

          CF200

          D1

          Ф240

          Ф253

          D2

          Ф267

          Ф267

          D3

          □167.6

          □167.6

          L1

          142

          142

          L2

          152

          152

          H1

          393

          393

          H2

          108

          108

          H3

          135.5

          135.5

          H4

          104

          104

          泵腿螺釘孔

          4-M8

          4-M8

          聯(lián)


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