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          日本ULVAC CFB-600N耐腐蝕分子泵技術(shù)參數(shù)

          發(fā)布時(shí)間: 2015-12-29  點(diǎn)擊次數(shù): 1318次

          一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

                  CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒,軸承采用陶磁精密軸承,以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了清潔無(wú)油的高真空環(huán)境,產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計(jì),具有*的耐腐蝕性能,廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

           

          二、產(chǎn)品特點(diǎn)

                  

          • 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
          • 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承,可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

           

          三、主要性能指標(biāo)

           

          型號(hào)

          CFB-600N

          進(jìn)氣口法蘭

          LF160

          CF150

          排氣口法蘭

          KF40

          抽氣速率

          L/s

          600

          壓縮比N2/H2

          1×109/8×103

          極限壓強(qiáng)

          Pa

          5×10-7

          8×10-8   

          電機(jī)轉(zhuǎn)速

          rpm

          24000

          啟動(dòng)時(shí)間

          min

          <4.5

          使用場(chǎng)合

          耐腐蝕

          振動(dòng)值

          μm

          ≤0.1

          前極泵

          L/s

          4-8

          冷卻水溫度

          ≤20

          泵體烘烤溫度

          <120

          冷卻水流量

          L/min

          1

          加熱器功率

          W

          <550

          加熱器輸入電壓

          V

          AC220

          安裝方向

          垂直±5°

          重量

          kg

          ~29

           

          四、特性曲線及安裝尺寸

           

          CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線 

          CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

           CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表

          型號(hào)規(guī)格

          CFB-600N

          高真空法蘭

          LF160

          CF150

          D1

          Ф180

          Ф202

          D2

          Ф236

          Ф236

          D3

          □145.7

          □145.7

          L1

          128

          128

          L2

          137

          137

          H1

          395.5

          395.5

          H2

          108

          108

          H3

          135.5

          135.5

          H4

          104

          104

          泵腿螺釘孔

          4-M8

          4-M8

          聯(lián)


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